一、前級(jí)泵：

在進(jìn)行前級(jí)泵的選配時(shí)，要注意機(jī)械泵的泵速是在常壓下測(cè)量出來(lái)的，而正常使用的泵都是在大氣壓之下工作的，這樣就降低了泵的泵送速度，所以要根據(jù)抽速曲線來(lái)配置泵。

1、前級(jí)泵的配置須遵守的原則：

（1）以滿(mǎn)足主泵進(jìn)氣口能工作的壓力所需的預(yù)抽時(shí)間要求為準(zhǔn)；

（2）可抽掉主泵產(chǎn)生的氣體的量；

（3）須滿(mǎn)足主泵工作所要求的預(yù)真空條件。

 

 

2、不同主泵配置的前級(jí)泵不同：

（1）蒸汽流泵前級(jí)配置泵。包括擴(kuò)增泵、油擴(kuò)散噴射泵、油擴(kuò)散泵等。 在主泵排氣口的允許壓力下，要求將主泵產(chǎn)生的氣體量排出。

（2）羅茨泵串聯(lián)機(jī)組。此類(lèi)前級(jí)泵配置方式有兩種類(lèi)別：一個(gè)是羅茨泵加羅茨泵加機(jī)械泵；另一個(gè)是羅茨泵加羅茨泵加水環(huán)泵。不同的兩種方式都是以羅茨泵為主泵，另一羅茨泵為前級(jí)泵的配置方式。

（3）其它常見(jiàn)的前級(jí)泵配置有：羅茨泵以油封機(jī)械泵為前級(jí)泵、羅茨泵前級(jí)配置水環(huán)泵以及渦輪分子泵的前級(jí)配置泵等。

 

 

二、主泵：

真空鍍膜的泵組選配時(shí)，主泵選擇是一個(gè)關(guān)鍵點(diǎn)。主泵的選擇不能只追求單一方面的指數(shù)，它須根據(jù)使用條件考慮多項(xiàng)指標(biāo)。真空鍍膜機(jī)的主泵選擇依據(jù)有：

1、通過(guò)實(shí)際鍍膜生產(chǎn)過(guò)程所需的工作壓力進(jìn)行主泵的選擇：

此要求作為主泵選取的首要要點(diǎn)，由于真空室的工作壓力一定要能夠保證在主泵抽速的壓力范圍中間，因此需要掌握主泵抽速的壓力范圍，而主泵抽速是以工藝生產(chǎn)中放出的氣量、所需工作壓力、系統(tǒng)漏氣量等因素決定。主泵的有效抽速計(jì)算涉及到真空室的要求工作壓力以及真空室的總氣量等因素。想要變大主泵的有效抽速就須先變大流導(dǎo)，所以設(shè)計(jì)連接管道得短且粗，且管道直徑一般要大于主泵入口直徑。

2、空載時(shí)，鍍膜真空室所需要達(dá)到的極限壓力：

主泵的類(lèi)型是根據(jù)真空室中需要建立的極限壓力來(lái)確定的。主泵的極限壓力通常比真空室的極限壓力高，一般是高了0.5-1之間的數(shù)量級(jí)。

3、不同工藝的鍍膜真空室對(duì)油污染要求標(biāo)準(zhǔn)的不同，來(lái)選擇無(wú)油、半無(wú)油或有油真空泵來(lái)作為主泵。

4、了解泵送的氣體的類(lèi)型、組成、溫度、灰塵雜質(zhì)的氣體等情況，需要慎重選擇主泵。

5、投資預(yù)算與運(yùn)維經(jīng)濟(jì)等預(yù)算來(lái)選擇。

 

 

三、粗抽泵

由于各種濺射離子泵、低溫泵、低溫吸附泵(不包括分子篩泵)等需在某種預(yù)真空狀態(tài)下才可以工作。在這種情況下，真空鍍膜設(shè)備所需的粗抽泵的抽氣速度不僅受真空容器的容積影響，還受預(yù)先設(shè)定的預(yù)抽時(shí)間的影響。